ウエハー受託成膜サービス

受託成膜サービス

あらゆるウエハーへ絶縁膜や金属膜などの成膜が可能です。
少量試作・開発・量産まで受託加工サービスをご提供いたします。

膜付きウェハーの販売も行っております。詳しくはお問合せください。

	成膜手法	膜種	対応基板サイズ、その他
絶縁膜	熱酸化	熱酸化膜	～φ8インチ
	PE-CVD （低応力成膜）	TEOS	～φ12インチ
		SiO2	～φ8インチ
		SiN	～φ12インチ
		SiON	～φ8インチ
	LP-CVD	SiO2	～6インチ
		SiN	～6インチ
		SiON	～6インチ
	スパッタリング	SiO2	～φ12インチ
金属膜	スパッタリング	Ti/Cu/Cr/Ni/Al/AlCu/Ta/TaN/ TiW/TiN/AlSi/Al2O3 他膜種も検討可能	～φ12インチ
	LP-CVD	W	～4インチ
	LP-CVD	poly-Si	～6インチ