成膜サービス
あらゆるウエハーへ絶縁膜や金属膜などの成膜が可能です。
少量試作・開発・量産まで受託加工サービスをご提供いたします。
膜付きウェハーの販売も行っております。詳しくはお問合せください。
| 成膜手法 | 膜種 | 対応基板サイズ、その他 | |
|---|---|---|---|
| 絶縁膜 | 熱酸化 | 熱酸化膜 | ～φ8インチ |
| PE-CVD （低応力成膜） | TEOS | ～φ12インチ | |
| SiO2 | ～φ8インチ | ||
| SiN | ～φ12インチ | ||
| SiON | ～φ8インチ | ||
| LP-CVD | SiO2 | ～6インチ | |
| SiN | ～6インチ | ||
| SiON | ～6インチ | ||
| スパッタリング | SiO2 | ～φ12インチ | |
| 金属膜 | スパッタリング | Ti/Cu/Cr/Ni/Al/AlCu/Ta/TaN/ | ～φ12インチ |
| LP-CVD | W | ～4インチ | |
| poly-Si | ～6インチ |
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