フォトリソ - 東北マイクロテック株式会社（T-Micro)

フォトリソサービス

１層のみのパターニングから積層RDL形成まで、
あらゆるご希望にお応えいたします。
弊社ではステッパー／アライナーでの露光可能なため、
どのようなパターンでもお気軽にご相談下さい。

露光装置	対応基板	対応基板サイズ	特徴
i線ステッパー（FPA-5500iZa）	Si/ガラス/SIC/SOIなど様々な基板へ対応可能。	φ8, 12インチ	解像度実績＝1.0/1.0μm アライメント精度=Total\|m\|+3σ≦30nm 両面アライメント可能レジスト：ポジ/ネガ/ポリイミド等対応可ステッピング精度 3σ≦30nm 最低露光量 650J/m2 露光範囲 26mm×33mm
アライナー	Si/ガラス/SIC/SIOなど様々な基板へ対応可能。	～12インチ	解像度実績＝NA（仕様装置による）両面アライメント可能レジスト：ポジ/ネガ/ポリイミド等対応可
マスクレスアライナー	Si/ガラス/SIC/SOIなど様々な基板へ対応可能。	～□8インチ	解像度実績＝最小線幅0.7μm 片面/バックサイドアライメント可能レジスト厚（ポジ）レジスト厚（ネガ）